2004年11月1日晚,在微电子学院研究生学术年会上,我校副校长郝跃教授为全校师生作了一场题为“微电子技术发展与我国的策略”的精彩报告。
郝跃教授是国家军用微电子技术专业组组长,总装备部科技委委员,863计划SoC主题专家组成员,在微电子领域享有盛名。他从一个战略科学家的角度,深入浅出的介绍了微电子技术及其发展趋势,分析了我国微电子技术发展机遇与策略,并简要介绍了我校微电子与固体电子学科。
微电子技术最关键的技术就是集成电路(IC)技术,该技术和其产业是密不可分的。通过对IC产品制造的整个流程的形象化介绍,郝跃教授指出了IC产业的特点即附加价值高、市场敏感、更新周期短、技术密集、投资密集和经济效益好。根据IC集成度的莫尔定律,在近30年的时间内,IC尺寸减小了1千倍,性能提高了1万倍,所以成本降低了1千万倍。谈到这一点,郝跃教授风趣的说,如果汽车也能按这个速度降低成本,现在就人人都能买的起了!微电子技术的发展趋势除了工艺上不断提高集成度以外,系统芯片(SoC)技术和产品正在成为IC产品的主流。与其他技术融合产生新技术也是微电子技术未来的一个发展方向。
除了巨大的经济效益以外,微电子技术对于国民经济信息化,国防和武器系统现代化以及国家信息安全具有重大的作用。由于历史的原因,我国的微电子技术与国际水平有明显差距,产业发展起步晚、水平低。多年来的事实说明,每当我国国防有重大进展,每当国际形势有重要变化,美国等西方国家在高技术领域首先限制我们的就是微电子技术,尤其是关键集成电路。所以现在国家花大力气扶持IC产业,发展微电子技术,而发展的核心是市场和人才。郝跃教授在这里着重分析了国内IC设计业的发展重点、方向和态势,指出主要瓶颈是知识产权(IP)和设计人才紧缺问题。对于军用微电子技术的发展和主要成果,郝跃教授也作了一些介绍。
我校的微电子学与固体电子学科是国家重点学科和211工程重点建设学科,微电子所是国家集成电路人才培养基地,拥有教育部重点实验室,博士点和博士后流动站和长江学者特聘教授岗位。目前有博士生导师8名,硕士生导师?名,主要的研究方向是新型宽禁带半导体材料、器件和电路,超大规模集成电路(VLSI)与SoC设计,超深亚微米半导体器件与可靠性技术研究,以及VLSI新工艺技术。
在郝跃教授和微电子所的科研、教学队伍的共同努力下,近年来微电子所的科研经费逐年稳定上升,在2003年到位的经费达到一千万元,在全校各研究所和机构中排名第二。科研设备和研究条件也有了大幅度的改善,目前拥有0.5微米器件和集成电路研制线,包括自主研制的国内第一台研究/生产型金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备,感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀机以及4路电子束蒸发台等,EDA设计软件和系统包括Cadence,Synopsis,Mentor,Silvaco,BTA Bert等。科研成果也相当突出,其中最新的研究成果包括高质量的氮化物材料及其异质结的外延片,与信息产业部13所和55所合作的GaN基高电子迁移率晶体管器件,以及在中芯国际流片的自对准槽栅CMOS器件等。近年来,微电子所先后承担完成了国家自然科学基金、国家重点科技攻关、八六三、国防科技预研、军用电子元器件等重点科研项目100余项,取得了国际先进和国内领先的研究成果60余项,获国家科技进步奖3项、国家发明奖1项、省部级科技进步奖40余项,在国内外享有一定的声誉和学术地位。
谈到这些,郝跃教授和在场的微电子学科的师生无不自豪和骄傲。
未来若干年,微电子技术仍然是发展最活跃和技术增长最快的高新科技领域,将开辟、辐射和带动一系列相关高新科技的发展。国家的高度重视和国际微电子产业的结构重组,使中国有可能成为世界的微电子设计和制造中心。这场激动人心的报告使我们看清楚了世界和中国的微电子技术的发展,以及我校微电子学科的特色。
最后,郝跃教授这样总结我国微电子技术的前景:努力发展,十年左右的时间中国的微电子技术和产业定能成为世界强国,我们能够实现,我们必须实现!(张金凤)