“为什么要搞MEMS设计，也就是微机电系统集成设计？”在机电工程学院会场举行的电子与信息技术全国博士生论坛特邀报告上，西北工业大学长江学者苑伟政教授的问题一经提出，立即引发了在场博士生的浓厚兴趣。
　　苑伟政教授介绍说，MEMS产品涉及力学、电子学、化学、控制学等，设计周期长，涉及多个学科。由于器件本身的微型化、高集成性，使MEMS设计变得十分复杂。他说，MEMS设计应用范围十分广泛。国外的设计工具以Coventorware、MEMSCAP等为主，而国内以MEMS garden为主，目前尚没有商品化的工具。因此，中国亟需开发自己的设计工具。在本次特邀报告上，苑伟政教授为与会师生详细介绍了微机电系统集成设计技术。
　　苑教授说，在微机电集成设计的实现方法上，MEMS的功能模块由传感部分、制动部分和控制部分组成，采取“自顶向下”设计和“由底向上”修正的设计方法。设计过程中，把设计与加工分开，采取了结构化的方式进行。
　　苑教授介绍说，MEMS集成设计平台的结构由系统设计和仿真、实体模型与工艺参数化建模、器件物理分析与宏建模三部分组成，设计过程分三个阶段，即系统级、工艺级、器件级阶段，他还详细讲解了其中的关键技术。
　　苑教授向与会博士生展示了MEMS的设计工具、三维实体模型到二维掩模版图、二维掩模版图到三维实体模型等，详细介绍了MEMS设计的产品，如RF膜桥开关、压阻式压力传感器、MEMS微变形镜等的具体应用。
　　苑教授还和与会博士生进行了交流，会后他还向西安电子科技大学机电工程学院赠送了一套价值10多万元的MEMS设计软件。
　　据了解，苑伟政教授近年来共主持承担了包括国家自然科学基金、863/MEMS重大专项、国防基础研究计划在内的30项研究课题，曾获省部级科技进步奖8项，出版了国内较为系统、全面论述微机电系统及相关技术的重要论著《微机电与微细加工技术》。
　　（编 辑\侯其锋 供 稿\宋刚锋）